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洁净室增压是必须的,它的作用是确保洁净室远离其临近区域的污染,控制有害污染物的流向,防止不同区域间的交叉污染,并帮助保持所要求的温度和湿度水平。
洁净室与相关走廊、设施内的其他区域的压差应维持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之间。一般制药企业所要求的压差值比这更高,在不同区域之间采用层叠压差来避免交叉污染。在不同的区域间安装一系列的层叠式气闸和允许空气快速扩散的正压门,从而产生压差。好的微电子洁净室设计中,通常在洁净室的入口安装一个半密封的气闸来使压差保持在0.02到0.005in.w.g.之间。更衣间和穿衣间用气闸分离。入口入的机械风淋相对于它的必要性而言,更是设施文化和洁净室的原则问题。
净化施工了解业主对于洁净室拟生产的产品种类、使用情况,进而确定所设计洁净室的技术要求,洁净室设计首先要了解所设计的洁净室的用途、使用情况、生产工艺等。比如对于集成电路生产用的洁净室,其控制对象主要是空气中的尘埃,同时,针对不同集成电路特征尺寸及其集成度,空气洁净度等级、高纯度物质、防微振的要求也不同,应参照工厂的产品品种确定。
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房间内污染物的比率和实际微粒产生情况,是影响洁净室空气换气次数的主要因素。在生产过程中,不对其他因素产生任何影响的情况下,清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影响再循环空气数量的因素是:房间的结构、设备的位置、设备表面温度、空气对流、气流类型(单向通过敏感区或者通过全空间)、操作空间和规章、使用的材料和化学药品等。
洁净车间可能需要在静态下进行鉴定,助力电池净化工程工程,在工况下进行鉴定,对生产过程进行确认或者cGMP认证。由综合服务管理部制定的联邦标准209(e),建议100或90fpm。然而有可能建立一个空气流动速度较低,但比100级洁净度更高的洁净室。实际上,已经有洁净室的空气流动速度是45cfm/平方英尺。
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